東京真空は、常に真空技術の研究開発を怠ることなく独創的技術を磨き、広く産業界に奉仕するため懸命の努力を続けています。

商品情報

VLSI・光半導体 | 宇宙・核融合用材 | 新素材・新機能材 | 新表面・新表面改質

ターボ分子ポンプ搭載

真空高温炉

TV-1300R

DEVICE INFORMATION
快速操作

START SW./ワンプッシュ

快速排気

炉電源ONまで/10分

快速昇温

1300℃・13分

快速冷却

1300℃→100℃/80分


特長

高速性

エネルギートータルバランスの最適値を追求した炉体設計が、高速の昇降温を可能にしました。

高速性能は一日当りの生産量、実験回数増による情報量の増大に寄与します。

クリーンな真空・雰囲気

排気系はターボ分子ポンプを搭載。ドライな真空、ピュアーな雰囲気の中での高温処理が可能です。

高速昇降温との相乗効果が得られます。

フルオート操作

真空センサー、ガス圧センサーとマイクロプロセッサー内蔵のデジタルプログラム調節計の組み合わせによるフルオートシステム採用。所定プログラム設定後スタートスイッチによるワンプッシュ操作です。

快速メンテナンス

ヒーター、リフレクター一体構造の炉体で、脱着とメンテナンスが容易です。

性能・仕様

型 式 TV-1300R
炉体構成 横型内熱方式
システム 排気・昇温(真空、雰囲気選択)・ガス冷却降温フルオートシステム
排気系 160 l/sec ターボ分子ポンプ
320 l/min 直結型ロータリーポンプ
ガス導入排出系 ガス(雰囲気・冷却:Ar・N2)導入・排出電磁弁
 流量計(Ar用 0〜10 l/min)
加熱方法 Mo抵抗加熱、200V 3P 12kVA
温度(真空) 常温1300℃、最高1400℃
炉内容積 150φ×200L(試料台100W×170L)
均熱(真空・無負荷) 100W×100H×150Lにおいて1300℃保持 ±3℃
炉内雰囲気 真空・Ar・N2
到達圧力 10-5Pa(無負荷・常温)
真空計 電離真空計(1.3×10-1〜1.3×10-5Pa)
 圧力連成計(-0.1〜0.1MPa)
温度制御 デジタルプログラムPID温度制御
測 温 R熱電対
記録計 6打点 100mm巾ハイブリッド型
昇温速度 最高100℃/min(真空・無負荷)
降温速度 1300℃→100℃/約80分(無負荷・Ar冷却)
ユーティリティ 電力:200V 3P 15kVA、冷却水:20 l/min 0.2〜0.3MPa 25℃
キャビネット 670W×650D×1550H、オールインワン型、キャスター付
重量 約400kg、前面開閉式デスク付

営業品目

真空コンポーネント
ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロー付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置