東京真空は、常に真空技術の研究開発を怠ることなく独創的技術を磨き、広く産業界に奉仕するため懸命の努力を続けています。

商品情報

新素材・新機能材 | 新表面・新表面改質

横型イージーローディング、メタルヒータークリーン設計

横型高温真空雰囲気炉

MULTI-VAC型

DEVICE INFORMATION
横型、前面扉全開方式のため試料の装着、取出しが容易です。
モリブデン線ヒーター、モリブデン主体反射板の構成により、それからの脱ガス量が少なく、高性能排気系の採用で高真空クリーン環境での処理が可能です。
ヒーターは円筒3分割制御(MULTI-VAC1・2)6面4分割制御(MULTI-VAC 3)とし、炉内均熱度は最高です。
多数の実績のある真空高温炉から厳選してシリーズ化したもので、短納期、低価格、高性能、高信頼性でお客様のニーズにお応えします。
豊富なオプションにより多様な仕様拡大が計れます。

特長

高温真空炉のトップメーカー東京真空が多数の納入実績のなかから厳選してシリーズ化したのが、 MULTI-VAC型高温真空炉です。

メタルヒーター、メタル反射板のクリーン設計、分割ヒーター制御の均熱向上設計、前面と扉全開 方式によるイージーローディングなど、お客様のマルチなニーズに100%お応えできる装置です。

 VEF-1000型系統図

性能・仕様

型 式
MULTI-VAC1
MULTI-VAC2
MULTI-VAC3
到達真空温度 10-4Pa台(常温・空積)
温 度 最高1,350℃、常温1,200℃
均 熱 ±5℃
有効均熱体
Φ200×300L
Φ350×400L
450W×500D×400H
ヒーター内寸法
Φ200×440L
Φ350×520L
460W×560D×450H
真空槽寸法
Φ360×530L
Φ540×650L
Φ900×940L
ヒーター制御 デジタルプログラムPID温調計 1台
デジタルPID温調計 2台
制御用熱電対 3対
同 1台
同 3台
同 4対
ヒーター
円筒3分割
円筒3分割
6面4分割
標準排気系
手動
油拡散ポンプ
ロータリーポンプ
手動
油拡散ポンプ
ロータリーポンプ
押釦エア作動
油拡散ポンプ
ロータリーポンプ
標準附属 電離真空計、ピラニ真空計、連成計、記録計
雰囲気 真空、不活性ガス(N2、Ar)
標準附属ガス導入系 流量計、流量調整弁
電 力
20kW
32kW
62kW
冷却水
20 l/min
30 l/min
50 l/min
装置標準寸法
1,870W×920D
×1,500H
2,000W×1,100D
×1,670H
4,800W×2,000D
×2,250H
オプション 大容量排気系(大口経油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプ)、
ガス導入系増設
高性能排気系(ターボ分子ポンプ、クライオポンプ)、
ガス流量調節(マスフローコントローラー)
自動排気系(プログラムシーケンサ)、ガス精製装置(脱酸素、脱水分)
其の他多機能のオプション仕様に付いては、お問合わせ下さい。

営業品目

真空コンポーネント
ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロー付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置