東京真空は、常に真空技術の研究開発を怠ることなく独創的技術を磨き、広く産業界に奉仕するため懸命の努力を続けています。

商品情報

新素材・新機能材 | 新表面・新表面改質

横型イージーローディング、メタルヒータークリーン設計

VES型 縦型高温真空雰囲気炉

VES-2100型 | VES-2200型 | VES-2300型

DEVICE INFORMATION
縦型、上面扉全開方式のため試料の装着、取出しが容易です。
タングステンヒーター、タングステン主体反射板の構成により、それらからの脱ガス量が少なく、高性能排気系の採用で高真空クリーン環境での処理が可能です。
ヒーターは円筒板ヒーター又はメッシュヒーターとし、炉内均熱度は最高です。
多数の実績のある真空高温炉から厳選してシリーズ化したもので、短納期、定価額、高性能、高信頼性でお客様のニーズにお応えします。
豊富なオプションにより多様な仕様拡大が計れます。

特長

高温真空炉のトップメーカー東京真空が多数の納入実績のなかから厳選してシリーズ化したのが、VES型高温真空焼結炉です。
メタルヒーター、メタル反射板のクリーン設計、均熱向上設計、上面扉全開方式によるイージーローディングなど、お客様のマルチなニーズに100%お応えできる装置です。

性能・仕様

型 式
VES-2100
VES-2200
VES-2300
到達真空度 10-4Pa台(常温・空積)
温 度
最高2.500〜常用1,800℃
最高2,000〜常用1,800℃
最高2,000〜常用1,800℃
均 熱 ±10℃(炉体軸中心3点、常用温度)
有効均熱体
φ100×100H
φ200×300H
φ300×350H
真空槽寸法
φ450×520H
φ550×700H
φ900×940H
ヒーター制御 デジタルプログラムPID温調計 1台

放射温度計 1台

制御用熱電対(WRe-5-26) 1対

ヒーター タングステン板ヒーター又はWメッシュヒーター
標準排気系
自動、手動

6インチ油拡散ポンプ

600l/minロータリーポンプ

自動、手動

8インチ油拡散ポンプ

900l/minロータリーポンプ

自動、手動

10インチ油拡散ポンプ

1,500l/minロータリーポンプ

標準附属 電離真空計、ピラニ真空計、連成計、記録計(6打点)、
100mm幅ハイブリッド型
雰囲気 真空、不活性ガス(N2、Ar)0.2kgf/cm2G以下
標準附属ガス導入系 1系統、流量計、手動流量調節弁、5l/min以下
電力(200V、3P)
38kW
50kW
70kW
冷却水(25℃)
25 l/min
35 l/min
50 l/min
装置標準寸法
1,000W×950D
×1,200H
1,600W×1,600D
×1,670H
4,800W×2,000D
×2,250H
オプション 大容量排気系(大口径油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプ)、
ガス導入系増設

高性能排気系(ターボ分子ポンプ、クライオポンプ)、
ガス流量調節(マスフローコントローラー)

自動排気系(プログラムシーケンサ)、ガス精製装置(脱酸素、脱水分)

其の他多機能のオプション仕様については、お問い合わせ下さい。

営業品目

真空コンポーネント
ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロー付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置