東京真空は、常に真空技術の研究開発を怠ることなく独創的技術を磨き、広く産業界に奉仕するため懸命の努力を続けています。

商品情報

1,100℃±1℃、10-5Pa、Ar、N2、Air…
各種雰囲気中での精密熱処理にお応えする

精密熱処理装置

TUBE-VAC-803 / TUBE-VAC-801 / TUBE-VAC-153

DEVICE INFORMATION

近年あらゆる分野に関連しております。熱処理加工、特に電子工学の急速な発展に伴い精密な熱処理が可能な装置として益々高度化した要望が多くなっております。東京真空ではこの要望を達成すべく、

省電力のための自動方式

精密な温度分布

急速昇温

クリーンな処理

各種オプションで多目的に利用

保守が容易

標準化による低コスト等にポイントをおき豊富な実績、経験、技術から多くの改良をかさね、ここにTUBE-VAC型精密熱処理装置を標準化しました。東京真空が自信をもってお勧めできる製品であることを確信しております。


ファインセラミックスの開発・製造に

焼鈍
焼結
拡散
エピタキシャル

CVD
液相成長
気相成長
熱酸化

焼入
電子材料のベーキング
厚膜焼成
シリコンウェハーのアニール

主な製造物

性能・仕様

型 式
TUBE-VAC-803
TUBE-VAC-801
TUBE-VAC-153
システム 自動、炉芯管式(外熱式)
温 度 1,100℃(MAX)
外熱部寸法(mm)
Φ80(ID)×610 l
Φ80(ID)×610 l
Φ152(ID)×914 l
均熱部部寸法(mm)
1,100℃±1℃(5℃)300 l
1,100℃±13℃(20℃)→250 l
1,100℃±1℃(5℃)400 l
有効寸法
(炉芯管)
Φ65(ID)×400 l
透明石英管(一端封じ)
Φ65(ID)×400 l
透明石英管(一端封じ)
Φ130(ID)×600 l
SUS-310S(一端封じ)
真空度
(圧力)
×10-5Pa(空積)
〜0〜0.03MPa
×10-5Pa(空積)
〜0〜0.03MPa
×10-4Pa(空積)
〜0〜0.03MPa
加熱方式
(材質)
3ゾーン方式
(カンタルヒーター)
1ゾーン方式
(カンタルヒーター)
3ゾーン方式
(カンタルヒーター)
雰囲気 各種雰囲気(高、低真空、不活性、Air)
真空排気系
(空道・自動)
OFJ-4型油拡散ポンプ(700 l /sec)
C-300型油回転ポンプ(300 l/min)
真空計 連成計(-0.1MPa〜0〜0.1MPa)
ガイスラー真空計
電離真空計(0.13Pa〜1.3×10-5Pa)
測 温 PID式温度調節計(※)
温度指示調節計
記録計(※)
温度制御 プログラマー温度調節計 (※)
マニホールド SUS-304 (冷却パイプ付き)
その他 炉芯管の材質及び有効径(炉内寸法以下)の変更はオプションを御利用下さい
冷却方式 ●電気炉自然冷却
●電気炉移動方式 (※)
●炉芯管強制送風方式 (※)
●試料移動 (※)
使用電力
AC-200V7Kw、50/60Hz
AC-200V7Kw、50/60Hz
AC-200V15KVA、50/60Hz
使用水力
3.5 l/min(0.2MPa)
3.5 l/min(0.2MPa)
4 l/min(0.2MPa)
寸法(重量)
約1,300W×920D
×1,400H
約1,300W×920D
×1,400H
約1,800W×1,000D
×1,550H

※印はオプション扱いとなります。

万能を発揮する MINI-VAC

電気炉、移動架台(T-01)

不透明石英炉芯管[一端封じ、両端開](T-03)

アルミナ炉芯管[一端封じ、両端開](T-04)

両端方式用マニーホールド(T-09)

真空、温度、自動システム(T-05)

炉体部ローディングシステム(T-12)

プログラマー調節器

温度指示計

ピラニー真空計

透明石英炉芯管[一端封じ、両端開](T-02)

SUS-310S炉芯管[一端封じ、両端開](T-04)

チューブアダプター (T-10)

炉芯管冷却用ファンシステム(T-06)

試料ローディングシステム(T-11)

記録計

精密温度調節

電離真空計

ガス流量計(T-13)


営業品目

真空コンポーネント
ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロー付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置